深紫外線透過率10%超向上させた深紫外線透過ガラス

深紫外線透過ガラス （上から管形状、 板形状＜金メタライズ膜付き＞、 レンズ形状） [引用:日本電気硝子株式会社]

　日本電気硝子は深紫外線域での透過率を１０％以上向上させた深紫外線透過ガラスを開発し、受注を開始した。既に複数の企業からの受注が入っている。

　新開発の深紫外線透過ガラスはガラス組成を見直し、石英ガラスと比べ低温熱加工が可能で、ＬＥＤに広く使用されている窒化アルミニウムと熱膨張係数が近似であるという利点を維持しながら石英ガラスと同等の深紫外線透過率を実現した。

　２００ナノメートルの波長で従来の深紫外線透過ガラスで７０％だった深紫外線透過率を１０％以上改善し８０％超にした。２５０ナノメートル以下の深紫外線域の透過率も従来品より１０％程度向上し、石英ガラスと同等。深紫外線が必要とされる様々な装置の性能向上に大きく貢献できるとみている。

　管形状（サイズ外径４×長さ１５００ミリメートル、厚み０.５ミリメートル）、板形状（３.５×３.５ミリメートル／５.０×５.０ミリメートル、厚み０.２―０.５ミリメートル）の標準品のほか、レンズ形状、プリズム形状での対応も可能。生産は管形状が能登川事業場（滋賀県東近江市）、板形状とレンズ形状、プリズム形状は精密ガラス加工センター（滋賀県草津市）。

　軟化点は石英ガラスに比べ１千度低い約７００度であり、低温での熱加工（封着など）が可能。窒化アルミニウムとの熱膨張係数差は石英ガラスに比べ１桁小さい。熱膨張係数差によるＬＥＤパッケージのガラス剥がれ、割れの発生がない。金メタライズ膜、反射防止膜など各種薄膜を施すことができる。