産業機器の状態監視などに最適なMEMS加速度センサー「ADXL1001/1002」と「ADXL356/357」を発表

ADIのADXL1001/1002

　アナログ・デバイセズ（ＡＤＩ）はこのほど、産業機器の状態監視などに最適なＭＥＭＳ加速度センサーを発表した。

　今回発表したのは産業用状態監視アプリケーション向けに特別に設計された「ＡＤＸＬ１００１／１００２」と、従来の３軸ＭＥＭＳ加速度センサーシリーズの新ラインアップとなる「ＡＤＸＬ３５６／３５７」。

　これまで産業機器の状態監視には圧電素子を応用した高価なセンサーユニットが利用されることが多かった。半導体製造技術を用いたＭＥＭＳセンサー技術は生産スケールやコスト、機能集積に長けている半面、測定精度で圧電素子に劣るという課題があった。

　ＡＤＸＬ１００１／１００２は、小型軽量、低消費電力、低価格、堅ろう性、安定性などの特性に加え、測定精度を大幅に改善。超低ノイズ、温度安定性、広帯域のｇレンジ・振動周波数を実現し、ワンチップで高精度な状態監視を実現できる。

　両製品ともアナログ出力の１軸加速度センサー。１００１はフルスケールレンジ±１００ｇ、ノイズ密度は３０μｇ／ √Ｈｚ 、感度は２０ｍＶ／ｇ。１００２はそれぞれ±５０ｇ、２５μｇ／ √Ｈｚ 、４０ｍＶ／ｇ。３.０―５.２５Ｖの単一電圧電源で動作し、定格温度範囲は−４０―＋１２５度。前工程は米国自社工場、後工程は韓国外注工場で行う。１千個受注時の単価はそれぞれ２９.６１ドル。

　ＡＤＸＬ３５６／３５７は、高周波においても低ノイズ性能を発揮し、振動を高分解能で測定できる。状態監視装置として用いることで機器の不具合を早期に検知できるようになる。超低消費電力で優れた性能を発揮するため、無線センサーネットワーク構築に最適。±４０ｇと高ｇレンジ対応のため、衝撃や振動の激しい環境下でも正確な傾斜角度計測が可能だ。

　３５６はアナログ出力で１千個受注時の単価は２８.６０ドル、３５７はデジタル出力で同３１.７８ドル。前工程は自社米国工場、後工程はフィリピン外注工場で行う。