阪大と共同で世界最小1008サイズの水晶振動子を開発

京セラクリスタルデバイスの １００８サイズ水晶振動子

　京セラクリスタルデバイスは大阪大学の山村和也准教授と共同で、世界最小の１００８（１×０.８ミリメートル）サイズ水晶振動子を開発した。５月からサンプル、１７年度中に滋賀八日市事業所で量産を開始する。

　水晶ウエハーの加工に超高精度な独自の非接触のプラズマＣＶＭ技術を用いた。プラズマ中の中性ラジカルと加工物表面の化学反応を利用した加工方法。水晶の厚みや表面状態などを高精度に制御することが可能。

　さらにエッチングマスク形成およびパターン形成、水晶エッチング、電極パターン形成を高精度半導体プロセス技術によって、高寸法精度を実現した。

　これまでの一般的な機械加工では、小型化した場合は直列抵抗値が大きくなり、周波数特性にばらつきが生じていた。

　今回、プラズマでのナノ製造プロセスを用いることで、従来の最小だった１２１０サイズから１００８サイズへと小型化し、しかも直列抵抗を６０Ω／３７.４ＭＨｚと抑制。周波数許容偏差±１０ｐｐｍ、周波数温度特性±１０ｐｐｍ／−３０―＋８５度を実現した。

　同社では、スマホ、ＩｏＴ関連端末など小型、高密度実装を要求する分野に提案する。さらにプラズマＣＶＭ技術を使ったＡＤＡＳをはじめとした車載向け高信頼性水晶振動子、通信基地局向けの高周波水晶振動子や高精度発振器などの開発を展開していく。