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ＭＥＭＳ活用の各種リレー、静電容量方式1軸／ピエゾ抵抗方式3軸加速度センサー  松下電工は、ＭＥＭＳを活用した超小型のＭＥＭＳリレー「ME-X」、静電容量方式１軸加速度センサー「ＧＳ１」、ピエゾ抵抗方式３軸加速度センサー「ＧＳ３」を１０月１日に同時発売する。 独自の生産技術、ＭＥＭＳ加工技術、マザー工場の伊勢工場への月産処理能力1000枚の６インチ半導体プロセスラインの先行導入によって商品化できた。 ME-Xは、ＭＥＭＳリレーの世界初の量産となる。ＭＥＭＳで２０マイクロメートル厚に加工したシリコンばねの精密可動機構と磁気回路からなる。外形寸法4.0×2.5×1.3ミリ。インサーションロス約0.5デシベル、アイソレーション約２８デシベル（５０オーム系、６ギガヘルツ）の優れた高周波特性を持つ。消費電力（メカニカルラッチング）も１００ミリワットに抑えた。ＩＣテスター、計測器、デジタル放送、3G/4G携帯電話などでの採用を見込んでいる。 ＧＳ１は、電極ギャップを8-10マイクロメートルに精密加工した櫛歯電極を形成した静電容量方式ＭＥＭＳセンサーチップと増幅ＩＣを１パッケージ化。外形寸法6.2×8.5×1.6ミリ。1V/g、±５％ＦＳの高感度、高精度を実現。温度変化などによる検知誤差を最小限に抑えた。カーナビ、車両制御、液晶プロジェクタ、福祉昇降機などの用途を開拓する。 ＧＳ３は、シリコンを厚み１０マイクロメートルに掘り込み、片持ち梁（ビーム）を形成したピエゾ抵抗方式ＭＥＭＳセンサーチップに増幅ＩＣ内蔵タイプと同ＩＣなしのエレメントタイプを品揃えした。外形寸法4.6×4.6×1.3ミリ。Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の加速度を独立検出可能。5000グラムの高い耐衝撃性を実現。ＨＤＤ搭載モバイル機器、ゲーム機、セキュリティ機器、ロボットなどの需要を見込んでいる。 ９７年から量産し、累計出荷が3000万個を超えた圧力センサー、ピエゾ抵抗方式１軸加速度センサーを含めたＭＥＭＳデバイスを「ＰＩＭＩＴＥＳ（ピミテス）」と名づけ、０８年にはＰＩＭＩＴＥＳ全体で、０４年比約５倍の２００億円の売上げを目指す。 | ||||||||||||