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半導体耐製造装置など向け高精度・高分解能の光学式リニアエンコーダ  アジレント・テクノロジーはこのほど、半導体製造装置、X-Yテーブル、産業用ロボット、リニアモーターなど向けに、ガラス製リニアスケールと保持用アルミニウム成型材および読み取りヘッドを1セットにした高精度、高分解能光学式リニアエンコーダ「Agilent AEDLシリーズ」を開発、13日から販売を開始した。サンプル価格は7万円（測定長1千ミリメートル製品）。販売開始後1年間で5千個の販売を目指す。 ＡＥＤＬシリーズは、アジレントとしては初のスケール、保持台、センサーヘッドを１セットにしたエンコーダで、リニアエンコーダの構成部品を半導体ワンチップに集約することによって、高性能、設置の簡易化ならびに低価格を実現した。また、内部信号補正機能を搭載することによって取り付け角の誤差に対する許容が広くなっている。 デジタル出力タイプの分解能は、0.5、1、5、10マイクロメートルの4種類を取り揃えている。 また、測定長は標準で220ミリメートルから2200ミリメートルまで対応している。オプションで40マイクロメートルピッチのサイン／コサイン波のアナログ信号出力タイプを選択することができる。 さらに読み取り用ヘッドに組み込まれている信号補正回路により、ガラス製スケールと読み取りヘッドの取り付け誤差がある場合でも、システム全体として正確な動作が可能である。 |
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