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SiCを使った耐圧3kVのショットキーバリアダイオード  日新電機の100%子会社のエコトロン（社長＝林幹朗日新電機副社長）とNHVコーポレーション（社長＝西野勲日新電機常務）は、シリコンカーバイド（SiC）を使った耐圧3kVのショットキーバリアダイオードの開発に成功。 同ダイオードを電子線照射装置用新型直流電源に組み込み、200kV・67mAでの実用化検証に成功した。3kV上の高耐圧品で実用化検証に成功したのは世界で初めて。 エコトロンは、今回の開発、実用化検証で、SiC半導体デバイスの製品化にメドをつけ、今後、さらなる高耐圧化と信頼性向上のための検証を実施し、06年4月からサンプル出荷する予定。日新電機では、電力設備や燃料電池、太陽光発電などの分散電源用制御機器などに組み込み、小型化、高性能化を図る。 エコトロンは、SiC半導体の開発、製造、販売を行っている。京都大学の松波名誉教授、木本助教授の指導で、ショットキーバリアダイオードの開発を進める一方、（財）電力中央研究所の厚膜エピタキシャル結晶成長技術を活用し、実用化検証に取り組んできた。近畿経済産業局の平成15、16年度の地域新規産業創造技術開発費補助事業にもなっていた。 NHVコーポレーションは、電子線照射装置の製造、販売、照射サービスや高電圧試験装置、応用機器、脱臭装置の製造、販売、ソフト・アプリケーションをベースにした製品加工などを行っている。 |
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