振動や傾斜測定用の高精度・小型の3軸センサー内蔵水晶加速度計

セイコーエプソンの水晶加速度計 　「Ｍ─Ａ３５１」

　セイコーエプソンは産業分野向けに、高精度・小型の水晶加速度計（振動・傾斜）「Ｍ−Ａ３５１ＡＳ」（ＳＰＩ出力モデル）、「Ｍ−Ａ３５１ＡＵ」（ＵＡＲＴ出力モデル）を開発した。３軸の水晶加速度センサーを内蔵し、振動や傾きなど多種多様なデータ計測が可能で、サンプル出荷は７月中旬を予定。

　これまで３軸の水晶加速度センサーを内蔵した振動計「Ｍ−Ａ３５０Ａ」、傾斜計「Ｍ−Ａ３５０Ｔ」を商品化・量産。今回、計測性能などを大幅に向上させた後継機を開発したもの。

　従来機１μＧ／ＬＳＢの約１６倍となる分解能０.０６μＧ／ＬＳＢでの高精度な計測が可能。また、従来機１５ヘルツ（固定）から１００ヘルツ（可変）に向上、より速い動きの計測ができる。

　従来の振動計、傾斜計がそれぞれ有していた機能を、１機種で担える汎用性の高い製品。ユーザーは本機種が３軸（ｘ、ｙ、ｚ）の各軸で計測するデータの単位を加速度、傾斜角、傾斜角速度の３種類から、任意で設定できる。

　精度・安定性に優れる水晶素材に独自技術ＱＭＥＭＳによる微細細加工を施し実現した、高精度で優れた安定性能を持つ水晶加速度センサーを使用。さらに自社開発の高性能、低消費電力のマイコンを用い、設計を最適化した。

　用途は建築構造物のヘルスモニタリング、土木現場での安全監視用途モニタリング、周辺環境の振動計測をはじめ、船舶・大型機械の挙動計測、大型構造物の保全用途モニタリング、地震に伴う対象物の振動（強震・微振動・長周期振動）計測など。