LED照明向け非極性面GaN（窒化ガリウム）テンプレート

　【山口】山口大学発ベンチャーの山口光半導体研究所（山口県宇部市）は１２月、ＧａＮ（窒化ガリウム）テンプレートの受注を開始した。１０月に出荷開始したサファイア加工基板（ＰＳＳ）とのセットでＬＥＤ照明関連メーカーに提案。ＧａＮテンプレート単独でも、パワーデバイスなどの研究開発にも適用可能で「１枚からでも販売できるので、気軽にアプリケーションの開発に使ってもらいたい」（杉浦文彦社長）と語る。

　非極性面ＧａＮテンプレートは既に基礎技術を確立しており１３年から量産準備を始め、将来的にＧａＮ基板の製品化を目指す。同社製品第１弾のＰＳＳは、既に基板メーカーやＬＥＤ照明メーカーなどへサンプルを出荷している。サファイア表面上に突起物を配置し、光を乱反射させることで光取り出し効率を高め、明るさは従来比３０―４０％増えるという。

　ウエハーサイズは従来２インチのみだったが、新しくドライエッチング装置を導入し４インチにも対応した。

　ＰＳＳタイプは標準円錐に加え、ロングピッチやロングコーンなど、様々な形状に対応可能。「標準パターンじゃないものを求める顧客は多い」と、顧客別の要望に迅速かつ柔軟に対応している。

　同社の技術を全国区に売り込むため、やまぐち産業振興財団などの支援を得ながら今年は展示会へ数多く出展。 　９月は横浜のＬＥＤジャパン、１０月は千葉のＣＥＡＴＥＣと、山口のやまぐち総合ビジネスメッセ、１２月は東京のエコプロダクツ、１３年１月はライティングジャパンにそれぞれ出展した。

　同社は、山口大学大学院理工学研究科（工学）の只友一行教授の研究成果を事業化するため１０年９月に設立された。経済産業省の「平成２３年度革新的低炭素技術集約産業国内立地推進事業」の補助と県と銀行などが設立した投資ファンドからの支援を得て、長州産業の小野田工場（山陽小野田市）内に生産ラインを整備した。

　ステッパ、ドライエッチング装置（２、４、６インチ対応可）、ＭＯＣＶＤなどをそろえており、ＬＥＤ用部材の製造販売に加え、シリコン、サファイア基板のパターニング、サファイア基板のドライエッチングなどの加工請負も手掛ける。

　杉浦社長は「ＬＥＤ照明分野は、まだまだ“すり合わせ”が必要で、海外勢にも十分勝てる技術とコストを身につけたい」と抱負を語る。