高感度センシングを必要とする分野向けセンサーモジュール

　日本電波工業は、センサー素子に水晶を用いて、微小レベルの重力、加速度、傾斜、変位といった物理量の変化を周波数によって検出することができる小型、軽量で高性能なセンサーモジュールを開発した。サンプルの参考価格は、１セット１５万円。

　地震計測、資源探査、構造物の震動計測、傾斜計、機械や車両のバランス調整および速度検出、磁気検出、人工触覚、自立形無人機械など、工業分野での高感度センシングを必要とする分野で使用するもの。

　構造的には、センサー素子を片持ち梁形状とし、自由端に設けた電極と向かいの電極間の距離の変化を静電容量の変化に変換させ、さらに周波数に変換する仕組みを採用している。センサー素子の素材には最高グレードの人工水晶を使い、ＡＴカット水晶振動子を採用した。

　これによって、加速度検出範囲（上限値）がプラスマイナス５０ｋＧａｌ、分解能（下限値）が１ｍＧａｌと、従来のシリコンＭＥＭＳセンサーに比べて上限値、下限値とも１桁広いダイナミックレンジで、連続的に高い精度での検出が可能となっている。

　サイズは、感度をより安定化させるための温度補償用の恒温槽を付加した場合でも、最大１００ミリメートル角×７５ミリメートル、重さは５５０グラムと小型、軽量を実現している。