ショックに強い車載機器向けMEMSジャイロセンサー

　ＴＤＫは、ＭＥＭＳ技術を応用した電子部品の開発に注力している。新たに角速度センサーとして、振動に強いＭＥＭＳジャイロセンサーを開発した。自動車における横滑り防止システムでのヨーレート検知、ロールオーバー検知などに提案していく。１５年をメドに商品化し、サンプル活動を展開する。

　ＭＥＭＳは、チップ上のセンサーやアクチュエータなどの微小な機能デバイスを構築する微細加工技術。特に、センシングデバイスとして様々なＭＥＭＳデバイスが開発されている。

■振動設計技術を駆使
そうした中で、同社では振動設計技術を駆使することにより、外乱振動に対して、出力変動が極めて小さい高精度なＭＥＭＳジャイロセンサーを開発した。

シリコンベースに圧電膜を形成するＭＥＭＳ技術によって、センサー素子の小型化を実現。振動に強い特徴に加え、高温度にも耐える広い使用温度範囲で高精度な検知を可能にしていることから、特にエンジンルーム内への搭載を可能にしている。カーブを走行時にアンダーステア、オーバーステアを防止し、正常に曲がるための横滑りを高精度に検出する。

同社はマテリアル、プロセス、評価などの技術を高度化して成長分野に向けた新製品開発に取り組んでいる。その中で、プロセス技術については、ＨＤＤ用ヘッドで培った薄膜技術、ＬＴＣＣ、ＳＥＳＵＢ（ＩＣ内蔵基板）などのパッケージ技術を活用した高機能モジュールなどの新製品を相次いで開発している。

ＭＥＭＳ技術についても、今後の次世代電子部品を開発していく上で、必要不可欠なプロセス技術として位置付けている。