マイクロミラー構造の赤外線センシングMEMS非接触温度センサー

　オムロンは、ＭＥＭＳ非接触温度センサーを開発した。赤外線を効率良くセンシングするマイクロミラー構造を採用。ウエハーレベル真空接合による熱絶縁構造にすることで、従来比７倍の高感度を実現した。これにより、センシングエリアを７倍に広げることができた。

　 店舗や駅構内など、人の混雑状況をリアルタイムにセンシングして、空調制御や夜間の人の侵入センシングなど防犯対策への活用を可能にした。今後、製品化を進め、センサーネットワークへの接続などの需要に応える。

　 開発したＭＥＭＳ非接触温度センサーは、センサー素子サイズ１５０マイクロメートル角。センサー素子を１６×１６にアレイ化した場合のチップサイズは６ミリ角と業界最小。感度３５０Ｖ/Ｗ、応答速度３ミリ秒程度。