100マイクロ厚や-20〜+80度Cに対応の薄膜リチウム二次電池

　アルバックと子会社のアルバックマテリアルは、薄膜リチウム二次電池の一貫量産技術を開発したことを１日発表した。この一貫量産技術は、３日から開催のセミコン・ジャパン２００８のアルバックブースに出展・展示される。

　 同時に、韓国Ｎｕｒｉｃｅｌｌ社が同量産技術を使って製造した、封止も含めて１００マイクロメートル厚で２×２センチメートル、出力電圧３―４.１ボルトのカード内蔵向け薄膜リチウム二次電池セルの試作品も合わせて展示する。

　 温度特性はマイナス２０度から８０度（最大１２０度）対応で「車載や能動デバイスとの同封など応用範囲は広い」とアルバックは説明している。

　 薄膜リチウム二次電池は、液体電解質方式に比べて液漏れ・発火の心配のない固体型の薄膜堆積技術を用いている。さらに薄膜・軽量・フレキシブルという特徴もあり、ＲＦＩＤやＭＥＭＳなど小型電子機器や生体医療機器への活用も期待されている。

　 正極・固体電解質・電極集電層は枚葉式スパッタ装置の“ＳＭＥ―２００Ｊ”で、負極は金属リチウムを真空蒸着装置の“ｅｉ―５”で、封止層は枚葉式蒸着重合装置“ＰＭＥ―２００”で形成。スパッタリングターゲットには正極用のコバルト酸リチウム、固体電解質は燐酸リチウムをアルバックとアルバックマテリアルの共同で開発しており、トータルソリューションを提供する。

　 １ラインで１５億円。０９年に３ラインの販売を見込んでいる。世界初の一量生産技術提案でもあり、アルバックではこの分野の「トップシェア」を目指している。