半導体産業用ガス供給系の集積化システム対応の小型圧力表示器「PG-20」

　日本電産コパル電子は、半導体産業用（１.１２５／１.５集積化対応）小型圧力表示器「ＰＧ―２０」を開発、今月から販売開始する。

　ＰＧ―２０は、半導体のガス供給系の集積化システムに対応した、小型で視認性（ＬＥＤデジタル表示）に優れた圧力センサー。感圧素子に半導体型薄膜素子（ＳＵＳ３１６Ｌ）を採用することで、高真空対応が可能だ。接続継手には、１.１２５インチおよび１.５インチＷシールを採用している。

　表示部はφ２０ミリ外形で、１.１２５／１.５インチベースブロックへの着脱が容易。視認性に優れた３.１／２ケタＬＥＤデジタル圧力表示。配管の方向に合わせて表示部の回転が可能。センサー素子と継手はレーザー溶接による一体構造。

　出力方式は、スイッチング出力（ＮＰＮ／ＰＮＰ）、電圧出力、電流出力の選択が可能だ。専用ケーブルは、ケーブルホルダーで表示器本体に固定できる。ＲｏＨＳ指令対応、ＣＥマーキング適合、ＵＬ認証取得を予定している。

　目標販売数は、初年度に月産２００個、３年後には同2000個。１.１２５インチＷシールのサンプル価格は９万8000円となっている。

　主な仕様は、定格圧力レンジは０.５ＭＰａ、１ＭＰａ（正圧／連正圧）。使用温度範囲はマイナス１０度―プラス５０度Ｃ（動作温度）、零度―プラス　５０度Ｃ（補償温度）。電圧出力１―５Ｖ　ＤＣ（駆動電圧１２―２４ＶＤＣプラスマイナス１０％）。電流出力４―２０ｍＡ　ＤＣ（駆動電圧２４ＶＤＣプラ
ス　マイナス１０％）。

　スイッチ出力は２点（ＮＰＮまたはＰＮＰトランジスタオープンコレクタ）。設定方法は、パネル操作による。