空調機器の給排気量のセンシングに最適なサイクロン式によるダスト分離構造のMEMSフローセンサー

　オムロンは、サイクロン式ＭＥＭＳフローセンサー「形Ｄ６Ｆ−Ｐ」を１４日に発売する。価格はオープン。

　 新製品は、近年法制化された２４時間換気システムや省エネに対応する、家庭・オフィス用空調機器の給排気量のセンシングに最適なフローセンサー。独自のサイクロン方式によるダスト分離構造「Ｄ．Ｓ．Ｓ（Ｄｕｓｔ　Ｓｅｇｒｅｇａｔｉｏｎ　Ｓｙｓｔｅｍ）」で、ほこり、粉塵を含む気体を分離してセンサーチップへの影響を軽減し、高信頼性を実現した。

　 世界最小クラスのＭＥＭＳフローセンサー素子を搭載し、同社従来機種（形Ｄ６Ｆ−０１Ａ１）と比べ、体積で５０％に小型化。
　 基板への直接実装も可能にし、誤配線の防止と配線工数の削減が図れる。基板実装タイプに加え、コネクタタイプも揃えた。

　 従来は片方向の流量センシングだが、新製品では双方向のセンシングを可能にした。空調機器の給排気や人の呼吸など、双方向のセンシングが必要なアプリケーションに対応できる。

　 主な用途は空調機器のほか、計測器、医療機器、半導体装置など。販売目標はＤ６Ｆシリーズで０８年度１００億円。

　 新製品は、１０月２日から６日まで幕張メッセで開催される「ＣＥＡＴＥＣ　ＪＡＰＡＮ　２００７」に出展する。