モーター外部に超音波電源を置き直径５０マイクロメーターのワイヤーを導波路に使った直径０．９５ミリと世界最小径の超小型モーター

　セイコーインスツル（ＳＩＩ）は１１日、首都大学東京の守屋正名誉教授と東京農工大学大学院技術経営研究科長の古川勇二教授の発明に基づき、東京農工大学古川研究室と共同で、直径０.９５ミリメートルの世界最小径の超小型モーターを開発したと発表した。

　 従来の電磁式モーターは、コイルや磁石の小型化に限界があるため、直径１ミリメートル以下を実現することは非常に困難で、超音波モーターでも圧電素子や与圧機構の配置に工夫が必要であり、小型化に限界があった。

　 今回開発したモーターは、モーター外部に超音波発振源を置き、直径５０マイクロメートルの金属ワイヤーを導波路として用い、先端のコイル状のステータに超音波を伝播し、ステータに接触したシリンダ状のローターを回転させるもので、超音波モーターの一種といえるもの。

　 従来の各種モーターと比較して、構造が極めて単純で部品数が少なく、小型化に適している。導波路の金属ワイヤには、機械式腕時計用のゼンマイ材料として開発され、現在は多方面で使われ高い信頼性を得ているスプロン材を使っている。

　 また、モーターを回転させるためには、超音波発振源を外に置き、電気信号をモーター本体に伝えるのではなく、振動を直接モーターに伝えて回転させる構造のため、液中での回転も可能という。

　 同社は今後、モーターとしてさらなる特性の向上を図りながら様々な分野で応用の可能性を探っていくことにしている。このモーターのサイズは直径０.９５×長さ３.６ミリメートル（ローター軸を除く）、回転数は２千−４千ｒｐｍ、トルクは０.２μＮ.ｍ以下となっている。