060919_04 村田製作所

060919_04
　

日付		メーカー名	製品分類	分類	用途
9月19日	060919_04	村田製作所	ユニット	センサーモジュール	自動車機器用

カーナビ用超小型低背（10x10x3.3ミリ）高精度のジャイロセンサー

　村田製作所は、カーナビ用の超小型低背、高精度のジャイロセンサー「ＭＥＶ―５０Ａ―Ｒ」を商品化し、量産に入っている。サンプル価格は５千円。現在は月産１０万個体制だが、早急に月産２５万個にまで引き上げる予定。

　新製品は、業界最薄型の１０×１０×３.３ミリサイズで、体積は同社従来品の２０％、表面実装に対応している。ＭＥＭＳ技術を駆使した振動ジャイロで、振動子構造体に単結晶シリコンを採用。シリコン基板に深掘り加工を施して、微細な櫛歯構造の電極対を形成し、振動子に角速度が加わったときに生ずるコリオリ力を、電極間の静電容量の変化として検知する。

　同社のＭＥＭＳタイプジャイロは、独自の新しい振動子構造を採用し、従来の圧電タイプに比べ、大幅な高精度と小型化を実現した。同時に耐振動、耐衝撃特性も向上。

　ＭＥＭＳ素子からの微小信号を処理する回路部も、素子の優れた安定性を生かした専用ＩＣにより、安定した温度特性を確保した。この安定した温度特性が、カーナビの高性能化に、低背構造は、セットの高密度化に貢献する。

　各種ロボットの姿勢制御や、移動体・運動体の計測など、幅広い応用にも期待でき、同社の自転車型ロボット「ムラタセイサク君」にも搭載されている。検出範囲はプラスマイナス７０ｄｅｇ／秒。感度は２５ミリボルト／ｄｅｇ／秒。ＲｏＨＳ指令対応。千葉・幕張メッセで１０月３―７日まで開催される「ＣＥＡＴＥＣ　ＪＡＰＡＮ　２００６」で展示する。