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3軸加速度センサーモジュール世界最薄品を開発。 
沖電気工業はこのほど、加速度センサーとデジタル通信機能を搭載したセンサーコントロールＩＣ2種類のチップを、ワンパッケージ化した小型3軸加速度センサーモジュール「ＭＬ８９５０」を開発、10月にサンプル出荷、2005年4月から量産出荷を開始する。サンプル価格は5,000円。 新製品は、ピエゾ抵抗効果を利用して3軸（ＸＹＺ）方向の加速度・傾き・衝撃などを検出し、この信号をデジタル出力する小型・薄型の3軸加速度センサーモジュール。小型携帯機器へ搭載するための高い衝撃耐性とセンサーチップの小型・薄型化との両立を、ＳＯＩ（シリコン・オン・インシュレーター）を用いた独自のマイクロマシニング技術により実現した。このセンサーチップとコントロールＩＣチップをＭＣＰ技術により一体化することで1.4ミリメートルの世界最薄パッケージを製品化した。これにより、従来サイズ制限や耐衝撃性の点から搭載できなかった携帯電話など小型携帯機器への搭載を可能にした。 主な用途は各種モバイル機器、アミューズメント、セキュリティなど。 今回の3軸加速度センサーモジュールは、同社が初めてＭＥＭＳ（マイクロマシン）市場に投入する製品。今後はＭＥＭＳ技術とＬＳＩ設計技術を組み合わせた集積化ＭＥＭＳにより、さらに高機能のＭＥＭＳセンサーを開発し、06年度売上げ100億円を目指す。 |
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