32.768kHz、世界最小のMEMS振動子

12月から量産する世界最小の 32.768KHzMEMS振動子 [引用:株式会社村田製作所]

　村田製作所は外形寸法０.９×０.６×０.３ミリメートルの世界最小の３２.７６８ＫＨｚＭＥＭＳ振動子を開発した。１２月から量産を開始する。

　従来型の３２.７６８ＫＨｚ水晶振動子より５０％以上小型化した。ＩｏＴ機器やウエアラブル機器などの小型化、低消費電力化に貢献できる。生産は富山村田製作所（富山市上野）と外部委託する。

　自動車業界などで採用実績を持つフィンランドの生産子会社ムラタ　エレクトロニクス　Ｏｙ（旧ＶＴＩテクノロジーズ、ヴァンター市）のＭＥＭＳ技術を活用し、小型化、低ＥＳＲ特性、優れた周波数精度、低消費電力を実現した。

　ＭＥＭＳ技術で小型化を実現しながら水晶振動子と同等の初期周波数精度２０ｐｐｍ以上の周波数温度特性（１６０ｐｐｍ以下）を実現した。動作環境−３０─＋８５度。７５ｋΩの低ＥＳＲ化により、半導体集積回路のゲインを下げることで、安定した基準クロック信号を生成し、従来比１３％減の低消費電力化した。

　これまで基準クロック信号を生成する回路に外付けしていた積層セラミックコンデンサ２個分をＭＥＭＳ振動子に６.９ｐＦの静電容量を内蔵することで不要にした。これにより実装時の大幅なスペース削減が可能となり、回路設計の自由度を高めることができる。シリコン材料を用いたウエハー・レベル・チップ・スケール・パッケージ（ＷＬ―ＣＳＰ）により、同質の半導体集積回路への内蔵実装が可能。

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