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ガスの流量を制御するオールインワン化されたマスフローコントローラ  日立金属はこのほど、業界初となるオールインワン・マスフローコントローラ（ＭＦＣ）「ＳＦＣ１４８０Ｇシリーズ」を開発、販売を開始した。 新製品は、ガスの流量を精密に制御するマスフローコントローラに圧力センサーなどの周辺機器を組み込み、オールインワン化するとともに、ユーザーでガス種・レンジ変更、流量検定、校正までを可能としたもの。半導体業界から求められるガス供給システムの設置面積半減を可能とするとともに、保守用予備機への交換作業や、捨てガス工程を削減し、半導体製造装置の稼働率アップに貢献する。 同社は、約２０年にわたり高精度・高機能なＭＦＣを製造・販売してきた。ガス供給システムの小型化・高性能化を図るため、新コンセプトのオールインワンＭＦＣを開発したもの。 特徴としては、ＰＩ（一次側圧力変動影響抑制）機能内蔵により、圧力センサー、レギュレータ不要、フィルタ機能内蔵、ガスシャットオフ機能（特許出願中）を内蔵。ＭＦＣで完全にガスを閉止するため、バルブを小型化して内蔵することにより、デッドボリュームを大幅に減らし、捨てガス工程を短縮する。ユーザーでガス種・レンジ変更、校正可能。０６年８月に出荷開始を予定。０８年度には、年間３０億円の売上げを計画する。 | ||||||||||||