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純水製造装置や半導体製造装置の用途向け高耐食圧力センサー  日本電産コパル電子はこのほど、純水製造装置や半導体製造装置などの用途向けに、高耐食性圧力センサー「PA-708シリーズ」を販売開始した。 サンプル価格は、ＰＴＦＥタイプ６万円、ＰＦＡタイプ７万円。販売目標は、初年度月間1000台、３年後には月間3000台。 近年の半導体素子および、液晶をはじめとする表示用ガラス基板の微細化・クリーン化に伴い、製造工程で使用される純水・洗浄液・エッチング液も高純度化・高濃度化・高耐食化が進んでいる。 新製品は、これらの媒体（超純水や酸・アルカリ性溶液など）に対しても、長期間安定した特性が得られる圧力センサー。 センサー部には、高精度のセンサー素子を使用しており、ダイアフラムを含めた接液部には、すべて耐食性に非常に優れたフッ素樹脂を採用している。 また、センサーとダイアフラムは、同社独自の接合技術により、強固な一体構造を有し、負圧印加時でも正圧時と同様に非常に安定した出力特性が得られる。 用途は、純水製造装置、半導体製造装置、液晶製造装置、そのほか、腐食性の高い用途。 特徴としては（１）負圧、および連成圧に対応（２）接液部材質にＰＴＦＥ、ＰＦＡの２種類を用意（３）ＣＥマーキング、ＵＬに標準対応。 圧力レンジは、マイナス１００―プラス１００キロＰａ/マイナス１００―プラス３００キロＰａ/マイナス１００―プラス６００キロＰａ。使用温度範囲１０―８０度Ｃ（媒体温度）。電源２４ボルト。アナログ出力４―２０ミリアンペア。 |
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