050628_01
感度特性とセンサー抵抗値を両立させた超小型高性能薄膜磁気センサーGIGS  【名古屋】大同特殊鋼は、財団法人電気磁気材料研究所（仙台市、増本剛理事長）と超小型高性能薄膜磁気センサーＧＩＧＳを共同開発、今春から紙幣判別機や小型エンコーダ向けにサンプル出荷を開始した。 磁気センサーは、非接触検出が可能なため摩擦や摩耗がなく、主にモーターの回転制御、位置センサー・角度センサーに使用されてきた。光学センサーと異なり、汚染に強いという利点を持つが、大きな形状が必要、感度が低いなどの問題点があった。 新製品は、０２年度からＧＩＧＳの発明者かつ基本特許保有者の電気磁気材料研究所と共同開発。大同特殊鋼の磁性薄膜積層技術、微細加工量産技術を加味して、広範囲にわたる特性要求に対応できるＧＩＧＳ製造プロセスを実現した。 感度特性は、磁界感応領域を±5-300 0eの範囲で任意に設定可能、磁気抵抗変化率は６％以上。センサー抵抗値は、100kオーム-2Mオームの素子設計が可能。従来の磁気センサーでは感度特性とセンサー抵抗値を両立することは設計上制約が多く困難であったが、新製品は両者を広い範囲で設定できる。磁気センサーより高感度のため、1/10に小型化でき、消費電力も1/100程度にできる。耐熱性にも優れる。 ０５年度中に大同特殊鋼技術開発研究所（名古屋市南区）内にＧＩＧＳ量産体制を確立、０６年度末には量産開始（月産８万個）を予定している。 主な用途は自動車用センサー、小型エンコーダ、各種磁気センサー応用ユニットなど。１０年度には売上高10億-30億円をめざす。 |
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