200601_01 村田製作所

200601_01

日付		メーカー名	製品分類	分類	用途
6月1日	200601_01	村田製作所	半導体素子	半導体センサー	自動車機器用

測位誤差が数十センチレベル6軸3D MEMS慣性力センサー

6軸3D MEMS慣性力センサー
「SCHA600シリーズ」

　村田製作所は、自動車安全規格ASIL Dを要求されるシステムに対応可能な6軸3D MEMS慣性力センサー「SCHA600シリーズ」を開発した。12月末から量産を開始する。

　独自の静電容量型3D　MEMS技術を用い、誤差数十センチメートルレベルの測位を実現した。先進運転支援システム（ADAS）や自動運転、レーンキーピングアシスト、デッドレコニングなどのシステムの高精度ニーズに応えることができる。ASIL Dの機能安全開発に応じたISO26262に対応。AEC-Q100規格準拠。

　3軸の角速度と加速度センサーをワンパッケージ化した。外形寸法18.7×8.5×4.5ミリメートル、32ピン。角速度測定範囲プラスマイナス125度／秒またはプラスマイナス300度／秒、加速度測定範囲プラスマイナス6g、電圧3.0‐3.6V。

　独自の3D MEMS構造で、優れたバイアス安定性、低ノイズレベル、高い耐振動性を実現した。フェイルセーフ機能により、リファレンス信号を用いたモニタリング、通信異常やビットエラーを検証するためのチェックサム、およびサチュレーションやオーバーレンジなどの異常信号の検出が可能。