高精度・低消費電流の静電容量型MEMS気圧センサー

　村田製作所は、高精度、低消費電流の静電容量型ＭＥＭＳ気圧センサーを開発した。ナビゲーションシステム、活動モニタリングシステム、ヘルスケア機器、気象データ収集などの用途向けに今年末から量産を開始する。工場は未定。

　ムラタ　エレクトロニクス　Ｏｙでは、フィンランド工場で静電容量型ＭＥＭＳ気圧センサーを生産している。１２年１月に買収したフィンランドのＶＴＩ社（現ムラタ　エレクトロニクス　Ｏｙ）の静電容量型ＭＥＭＳ技術を応用したもの。温度ドリフト性能を向上し、ノイズレベルを５センチメートルに相当する０.５Ｐａｒｍｓ（変換時間１秒、消費電流４２μＡ）に低減した。変換時間１２分の１秒、消費電流４.１μＡでノイズレベル２.１Ｐａｒｍｓ。

　ノイズレベルは、同じ消費電流比較でこれまでの他社品に比べ約４分の１。海抜６０メートル地点で５７センチメートルの段差がある階段でも高精度な気圧データを検出できる。高精度に高低差を検出できる。外形寸法２.３×２.６×０.９５ミリメートルと小型。