超小型・低消費電力のMEMSガスセンサー

　北陸電気工業は、エフアイエスと共同で超小型、低消費電力のＭＥＭＳガスセンサーを開発した。アルコールチェッカ、口臭チェッカ、エアモニターといった様々なモジュールへの応用が可能。モバイル機器から自動車、デジタル家電まで幅広い分野で用途を開拓していく。１３年２月から量産を予定。初年度１０万―２０万個を見込んでいる。

　新製品は、北陸電気工業のＭＥＭＳ技術を用いたメンブレン構造の高耐久性超小型マイクロヒーターとエフアイエスの半導体ガスセンサーの材料技術を融合した。

　マイクロヒーターは、メンブレン構造による低熱容量で素早い昇温立ち上がり能力を有する。また、高温下での抵抗値安定性に優れ、高温時の層間熱歪の低減設計、層間密着性を向上した高耐久性ヒーター。

　このマイクロヒーター上に、用途に応じて半導体ガスセンサー膜を形成したもの。

　ヒーターの基本消費電力が２０mＷと従来の１０分の１と低く、熱時定数も同１０分の１と小さい。そのため、間欠駆動、パルス駆動に適しており、センサー駆動条件を工夫することによって、従来比５千分の１の低消費電力化を可能にし、電池駆動に対応する。

シーテックで高評価

　パッケージサイズは５.５×３×１.５ミリメートルだが、センサーチップサイズが１.５ミリ角×０.２６ミリメートルのため、２.５ミリ角×０.９ミリメートル程度まで小型化が可能。

　２日から幕張メッセで開催されているＣＥＡＴＥＣ　ＪＡＰＡＮ２０１２の同社ブースでは、３種の半導体センサー膜材料を用いて開発したアルコールチェッカ、口臭チェッカ、エアモニターのモジュールによるデモンストレーションを行い、高感度である点が高く評価されている。

　同社は、成長戦略の一環としてＭＥＭＳデバイス事業の育成に注力。既に加速度センサー、気圧センサー、フォースセンサー、圧力センサーなどを開発。今回のガスセンサーはこれらに次ぐ製品。