アナログICのWLCSP検査用狭ピッチ・ケルビン用プローブ

　ヨコオは、アナログＩＣのＷＬＣＳＰ検査用に、高精度な電圧測定が可能な「狭ピッチ・ケルビン検査用プローブ」を開発、製品化した。
　ケルビン測定用に、一つの被測定端子にコンタクトさせるフォースピンとセンスピンとのピッチ（ケルビンピッチ）を２５マイクロメートルと同社従来品の半分に短縮した。今秋から市場に本格投入する計画。

　スマートフォンなどの携帯情報端末の小型・薄型化に伴って、機器に搭載される電源ＩＣ、スイッチＩＣなどのアナログＩＣも小型化が進み、端子間ピッチは従来の０.５ミリメートルから０.４ミリメートルが主流になってきている。

　特に、電源ＩＣでは電源電圧の低電圧化に伴い高精度な電圧測定が、スイッチＩＣでは大電流化、高周波化による低抵抗化に伴い、高精度な抵抗値測定が要求される。このため、これらアナログＩＣのＷＬＣＳＰ検査工程では、より高精度な測定が可能なケルビン測定法（４端子測定）が多用される傾向にある。

　被検査ＩＣの検査端子が０.４ミリピッチとなると、基板上のはんだボール径は０.２ミリメートル以下になる。そこへ２本の測定用プローブをコンタクトさせるには、プローブの打痕などはんだボールへのダメージを考慮すると極力はんだボール中心部分にコンタクトさせる必要があり、ケルビンピッチの極小化が求められる。

　同社はこうしたニーズに対応し、より小さいはんだボール径（φ０.１５ミリメートル以下）への検査ニーズに対応する、ケルビンピッチを２５マイクロメートルに短縮した製品を製品化した。

　狭ピッチ・ケルビン検査用プローブの概要は、適用ＩＣ端子ピッチ０.５―０.３５ミリメートル。ケルビンピッチ２５マイクロメートル。使用長６.３５ミリメートル。ストローク０.２ミリメートル。電流容量６００ｍＡ。