燃料電池の気体流量計測用MEMSフローセンサー

　オムロンは、燃料電池用の気体流量計測に適したＭＥＭＳフローセンサー「形Ｄ６Ｆ―７０」を２５日から発売する。

　 独自のＭＥＭＳ技術による流路構造により、従来最大で気体流量５０リットル/分計測できる製品とほぼ同形状で７０リットル/分までの計測を可能にした。１３年度に燃料電池用途で約２０万個の販売を見込んでいる。オムロンスイッチアンドデバイスで生産する。

　 家庭用燃料電池システムの空気極の流量制御には７０リットル/分のセンシングが必要で、これまで製品化してきたガス制御用フローセンサと組み合わせて、燃料電池システムの気体流量計測の全てに対応できる。精度はプラスマイナス３％Ｆ.Ｓ.（２５度Ｃ特性）。

　 燃料電池システムの標準仕様の継手形状クイック継手Ｐ１４タイプに適合。外形寸法８４.６×３２×３０ミリメートル。ポンプによる脈動による影響を従来機種比で１０分の１に低減し、高精度計測を実現した。

　 最大２００リットル/分の業務用燃料電池や、医療機器にも使用できる。