鉛を含まない圧電セラミック材料使用の超音波振動発生素子

　タムラ製作所は、鉛を含まない圧電セラミックス材料を開発した。１１年度からこの材料を用いた超音波振動発生素子を、半導体製造装置の消耗部材向けに半導体製造装置メーカーを対象に発売する。初年度１千万円の売上げを見込み、当面、年間２億円の売上げを目標としている。

　 従来は、鉛を含まずに圧電特性を維持することは困難とされていたが、今回開発した鉛を含まない圧電セラミックス材料は、圧電定数Ｑｍ（機械的品質係数）が２２００以上を達成した。この定数値は、鉛系圧電セラミックスと同等の特性を示し、従来の鉛を含まない圧電セラミックスと比較して、４倍の大きな値を達成している。

　 開発した圧電セラミックス材料を用いた超音波振動発生素子が、半導体製造装置の消耗部材向けに採用されたことを機に、半導体製造装置メーカーへの販売をスタートするもの。