MEMS技術の極狭ピッチ・RFデバイス検査用プローブカード「YP4シリーズ」

　ヨコオはこのほど、半導体前工程検査事業拡大に向け、ウエハー検査用プローブカードのラインアップを拡充し、ＭＥＭＳ技術応用の極狭ピッチ・ＲＦデバイス検査プローブカード「ＹＰ４シリーズ」を開発、販売開始した。同社では高性能なウエハー検査用プローブカードのラインアップが完成したことから、１２年度には前工程プローブカード事業売上高を約１２億円まで拡大させる計画。

　 同社は、長年培ってきたスプリングピン方式の極小径プローブ技術と微細精密加工技術を駆使し、ウエハー検査用に狭ピッチ・超多ピンのエリアアレイタイププローブカード（ＹＶＰシリーズ）を市場投入した。また、通信系高周波デバイス検査用に高周波技術を活用した、エリアアレイタイプ・ＲＦデバイス検査用プローブカード（ＹＶＨシリーズ）も販売している。

　 さらに今回、ＭＥＭＳ技術応用による極狭ピッチ・ＲＦデバイス検査プローブカード「ＹＰ４シリーズ」をラインアップした。フォトリソグラフィとメッキ技術を駆使して開発した先端極小プローブを、高度な位置決め技術でカードにアセンブリしたペリフェラルタイプの高周波対応プローブカード。主にデバイス開発段階の要求に応える製品として開発した。事前シミュレーションを含む設計から部品製造組み立て検査まで一貫して内製化を図り、高品質での提供が可能。

　 ＹＰ４シリーズは、ＲＦデバイス市場領域での３０マイクロメートルピッチ以上のペリフェラル電極配置に対し、ＹＰ４（ＭＥＭＳ）方式で対応。

　 特徴は、１０ギガヘルツをオンウエハーでの測定可能。電磁界シミュレーションによる線路の最適化設計対応。低針圧コンタクトによるＣＵＰ構造デバイステスト対応。針先近傍へ高周波線路の整合回路を実装可能。整合回路の定数変更作業対応。ペリフェラル対応、最小ピッチは３０マイクロメートル。