媒体分離型トランスミッタとして世界最小の圧力センサー

　ＴＤＫのグループ会社であるＴＤＫ―ＥＰＣは、ＥＰＣＯＳのＭｉｎｉＣｅｌｌシリーズとして、広い圧力範囲に対応する圧力センサーを開発した。圧力差を検出する差圧トランスミッタで、航空計測システム、プロセスエンジニアリング、水道関連、化学食品などの幅広い分野に利用できる。サンプル価格は６千円/個。量産は１１年初頭。

　 新製品は、測定媒体から内部素子を分離した構造を持つ媒体分離型トランスミッタとしては、１９.６×１６.２×１１ミリメートルと世界最小を実現した。構造は２枚のステンレスダイアフラムを組み込み、ＭＥＭＳを使った圧力センサー素子および電子回路部は、セラミックパッケージ内の不活性油で完全密封しているため、腐食性のある媒体圧力も優れた測定精度と再現性を実現した。使用温度範囲はマイナス４０―プラス１４０度Ｃ。

　 測定範囲は０―０.５気圧、０―２.５気圧、マイナス０.５―プラス０.５気圧、マイナス２.５―プラス２.５気圧。

　 トランスミッタ機能としては、供給電圧５Ｖにおいて圧力に応じた０.５―４.５Ｖのアナログ電圧を出力。その精度誤差は全温度範囲において最大でもわずか１.５％ＦＳ。

　 同社では標準のラインアップに加え、カスタムパッケージにも対応する。