波長別紫外線測定用酸化亜鉛（ZnO)系紫外線センサー

　ロームは、紫外線（ＵＶ）の量を波長域別に簡単に測定できる業界初の酸化亜鉛（ＺｎＯ）系紫外線センサーの開発に成功した。

　紫外光検出用材料にＺｎＯ系薄膜を採用し、日焼け、しみ、老化の原因となるＵＶ―Ａ（波長４００―３２０ナノメートル）、水ぶくれや赤くただれてしまうレジャー紫外線ともいわれるＵＶ―Ｂ（３２０―２８０ナノメートル）、オゾン層の破壊で地表に届くことがあるＵＶ―Ｃ（２８０ナノメートル）を光学フィルターなしで簡単に測定できる。

　量産技術の確立を急ぎ、まず３Ｖ電圧印加時で理論効率の６０―７０％のセンサー感度を実現しているＵＶ―Ａ、ＵＶ―Ｂの紫外線センサーを携帯電話などの携帯機器や美容用に１０年度から量産化する予定。

　センサー感度約５０％のＵＶ―Ｃの紫外線センサーも殺菌や洗浄分野などを狙い商品化していく。従来のシリコン系チップに比べ価格を約５分の１にできる。

　開発した紫外線センサーはガラス基板上にスパッタリングで厚み１マイクロメートル以下のＺｎＯ薄膜を形成した。センサーチップ寸法１ミリ角、厚み０.３ミリ。紫外線の波長域ごとのセンシングが小型サイズで実現でき、紫外線センサーの小型化とともに携帯電話、ポータブルデバイスなどへの応用展開が可能となる。

　紫外線センサーは、紫外線があたると色が変わるシート系のものや、シリコン系のフォトダイオードを転用したセンサーが商品化されているが、シート系は精度が低く、繰り返し使えない。シリコン系は可視光領域も吸収するため、可視光カットフィルターを使って紫外線だけを取り出すため、センサーが大型になるなどの課題があった。

　ロームでは東北大学川崎研究室とＺｎＯの共同研究を進める中で、ＺｎＯ系材料の薄膜が紫外光だと不透明に、可視光なら透明になる、材料組成のマグネシウム添加量を変えることで吸収波長域を制御できるというＺｎＯ系材料の物性に着目し、ＺｎＯ系の紫外線センサーの開発に取り組んでいた。