小型携帯機器向け気圧高度検地用MEMS圧力センサー・ピエゾ抵抗式「HSPPシリーズ」

　アルプス電気は１８日、小型携帯機器での気圧や高度などの検知用に、世界最小クラスのＭＥＭＳ圧力センサー・ピエゾ抵抗式（絶対圧検知用）「ＨＳＰＰシリーズ」を開発、１０月からサンプル出荷を開始すると発表した。

　 サンプル価格は１千円（税込み）。磁気デバイス事業部長岡工場（新潟県）で１０月から、月産５０万個の量産を開始する。

　 新製品は、薄膜プロセス技術、微細加工技術、パッケージ技術を用い、ピエゾ抵抗式の絶対圧検知用圧力センサーでは世界最小クラスの小型・低背化を実現した。

　 素子単品の小型タイプ（ＨＳＰＰＡＲ）で縦２.５×奥行き２.５×高さ０.７ミリメートル、アンプ内蔵のハイブリッドタイプ（ＨＳＰＰＡＡ）で縦３.５×奥行き３.５×高さ１.０ミリメートルを達成した。表面実装可能。

　 圧力検知は、外部からの圧力でダイヤフラムがたわみ、ダイヤフラム上に形成したピエゾ抵抗素子がひずむことで生じる電気抵抗の変化を、電圧信号として読み取ることで行う。

　 ダイヤフラムのたわみ量を、直接ピエゾ抵抗素子の電気抵抗変化としてとらえる、シンプルな素子構造で小型化に適している。これに独自の微細加工技術により、センサー素子を極小化し、製品の小型・薄型化を実現した。

　 エッチング条件の最適化による安定したキャビティ形成、外部応力の影響を抑えたＳｉ―Ｓｉ封止接合、温度変化に強いセラミック素材の採用などにより、特性のばらつきの少ない製品に仕上げた。用途は携帯電話、ＰＮＤ、腕時計、歩数計などとなっている。