ピエゾ抵抗式で樹脂パッケージを採用した世界最小の3軸加速度センサー

　日立金属はこのほど、「ピエゾ抵抗式」で「樹脂パッケージ」を採用した世界最小の３軸加速度センサーを開発した。

　新製品は、樹脂パッケージでは従来困難とされていた、モールド樹脂などの大きな外部応力によるセンサー特性への影響を、独自の応力解析・設計技術による新たな素子構造により排除し、安定したセンサー特性を実現。樹脂パッケージを採用したピエゾ抵抗式３軸加速度センサーでは初めて、安定したセンサー特性を実現した。同時に、世界最高の耐衝撃性（２万Ｇ以上）も実現している。

　パッケージ寸法は２.５×２.５×１.０ミリメートルｍａｘ（同社従来品体積比３０％削減）、重量１４ミリグラム（同社従来品重量比４６％削減）。機械的な共振性を持たない周波数特性。

　同社は、３軸加速度センサー全体での販売計画として、０８年度は年間２０億円、１０年度には同４０億円を計画している。