携帯基地局などの基幹ネットワーク向けQMEMS技術を使った小型で高安定・高精度の高周波対応HFF水晶発信器

　エプソントヨコムは、水晶素材をベースに精密微細加工を施すＱＭＥＭＳ技術を使った新製品開発を加速している。同技術は、小型で高安定、高精度の水晶デバイスを実現できることが特徴。新たに様々なサービスをＩＰ網で提供する通信ネットワークであるＮＧＮの基幹ネットワーク市場に向け、小型、高精度の高周波対応ＨＦＦ水晶発振器を商品化した。

　新製品は光伝送装置、携帯基地局、ＷｉＭＡＸ基地局などの基幹ネットワーク用。伝送装置や基地局の仕様に応じて選択できるように、水晶発振器「ＳＧ―７７１ＰＣＤ」と、周波数可変機能を持つ電圧制御水晶発振器（ＶＣＸＯ）「ＶＧ―４５１１ＣＡ」をラインアップした。サンプル価格は両製品とも２５００円。

　ＱＭＥＭＳ技術によって、励振電極付近だけを薄くする独自の逆メサ構造を採用。従来はダブルシール構造を用いていたが、小型化するため、水晶チップと発振回路を一つのパッケージに収めたシングルシール構造を採用した。

　これによって、サイズを７×５×１.６ミリメートルに小型化した。さらに、水晶チップとパッケージとをワイヤボンディングで接合することで、エージング特性も向上している。

　基本発振による低位相雑音特性／低ジッタ特性を確保している点も特徴。

　基幹ネットワーク向けの水晶デバイスは大容量化、高速化に対応して、厳しい周波数安定度と高周波への要求が強まると同時に、省スペース化に向けた小型化要求も活発化している。

　同社は事業戦略として、タイミング、センシング、オプトの三つのデバイスを柱にする３Ｄ戦略を展開している。

　水晶デバイスに係るタイミング、センシングデバイスでは、水晶素材の特徴を生かしたＱＭＥＭＳ技術を進化。

　ここに来て低消費電流、月差５秒の高精度のリアルタイムクロックモジュール、ジャイロセンサー、超小型の音叉型およびＡＴ型の振動子、ＴＣＸＯ、ＶＣＸＯなど、相次いで新製品を市場に投入している