小型GPSナビなど向け気圧や空気圧などの検知用小型・薄型ながら高分解能圧力センサー・ピエゾ抵抗タイプ

　アルプス電気は２５日、気圧や空気圧などの検知用に、小型・薄型ながら高分解能の圧力センサー・ピエゾ抵抗タイプ「ＨＳＰＰシリーズ」（絶対圧検知/ゲージ圧検知用）を開発、１１月からサンプル出荷を開始すると発表した。ピエゾ抵抗素子の微細化と温度補正用ＩＣの内蔵により、ピエゾ抵抗タイプとして、業界最小レベルの小型薄型化と、０.０１キロパスカルの高分解能を達成した。

　 サンプル価格は３千円。磁気デバイス事業部・長岡工場（新潟県長岡市）で０８年１０月には月産１００万個の生産を計画。

　 ポータブルナビやアウトドア用の地図表示機能付きＧＰＳナビでは、小型化に加え、道路の高低差検知機能などナビ機能の高度化が進み、実装スペース縮小に対応する搭載部品の小型化が要求されている。

　 新製品は、薄膜プロセス技術、微細加工技術、パッケージ技術を用い、ピエゾ抵抗素子を用いた圧力センサーとして業界最小レベルの小型・薄型化（絶対検知用＝４.５×４.５×高さ１.０ミリメートル、ゲージ圧検知用＝７.０×７.０×高さ８.０ミリメートル）を達成。ゲージ圧検知用はセットに組み込みやすい圧力導入口や端子などを一体化している。

　 同製品の圧力検知は、外圧によりダイヤフラムがたわみ、ダイヤフラム上に形成されたピエゾ抵抗素子のひずみで生じる電気抵抗変化を、電圧信号として読み取る仕組み。デジタル回路と温度補正回路の最適化により、０.０１キロパスカル（高度換算１メートル相当、水位換算１ミリメートル相当）の高分解能を実現。ＰＮＤでの道路高低差や登山時の高度差検知に貢献。このほか洗濯機の水位検知など幅広い用途に対応する。