高感度で業界最小レベル(4.8x4.8x1.8ミリ）の小型・薄型化を実現した静電容量方式の圧力センサー

　アルプス電気は７月３１日、タイヤ空気圧や気圧、血圧などの圧力検知用に静電容量方式による圧力センサー（絶対圧検知用）「ＨＳＰＣシリーズ」を開発、今年１０月からサンプル出荷開始すると発表した。静電容量タイプ圧力センサー外販製品の第１弾として販売開始するもので、小型かつ高感度・低消費電流を実現。サンプル価格は1000円（税込み）。０８年８月には磁気デバイス事業部長岡工場（新潟県長岡市）で月産１００万個の量産を予定。

　新製品は、空気圧や血圧などの圧力を静電容量変化で検知するセンサー。圧力検知は、圧力の変化に伴い、ダイヤフラムと呼ばれる可動電極が付いた膜がたわんで、固定電極との間の静電容量が変化し、その変化量を電気信号に変換することによって行う。

　静電容量タイプの圧力センサーは一般に高感度・低消費電力が特徴で、ＨＳＰＣシリーズを利用した圧力検知システムでは消費電流がマイクロアンペアレベルと非常に少なく、セットの低消費電力化に貢献する。

　薄膜プロセス技術、精密加工技術、パッケージ技術を活用し、静電容量タイプ圧力センサーとしては業界最小レベルの小型・薄型化（外形寸法４.８×４.８×高さ１.８ミリメートル）を実現。温度変化による圧力検知の特性変化が小さく、さらに、温度変化に強いセラミック素材のパッケージとすることで広い動作温度範囲（マイナス４０―プラス１２５度Ｃ）を実現。温度変化の激しい車載環境でも安定した圧力検知が可能。

　用途は、ＴＰＭＳ（タイヤ空気圧モニタリングシステム）、血圧計、気圧計などの圧力の検知。