041005_07
MEMSフローセンサー 
オムロンはデジタル機器、空調機器向けのダスト分離構造付きＭＥＭＳフローセンサー「形Ｄ６Ｆ―Ｗ」を今月から発売した。 機器内部に送り込む風量を計測し、フィルターの目詰まりによる微小な風量変化を高精度に検出できる。フィルターの交換時期を知らせることで、機器の故障を未然に防ぐことができる。 検出部に独自のＭＥＭＳ技術により、1.55×1.55ミリ、厚み0.4ミリの超微細構造の世界最小、高感度のフローセンサー素子を開発し、外形寸法20×39×9ミリの小型化フローセンサーを実現した。フローセンサー素子は1センチメートル／秒以下の微流速計測が可能。温度の影響が少なく、高速応答。フローセンサーは独自の立体流路構造を用いほこり、粉塵を分離排出し、信頼性を高めた。 04年中に半導体装置向けに空気の流量計測タイプ一機種、医療機器、計測機器向けに空気・酸素の流量計測タイプ4機種のＭＥＭＳフローセンサーをラインアップする予定。ＭＥＭＳフローセンサー全体で07年度60億円の売上げを見込んでいる。 |
|||||||||||||