電波プロダクトニュース
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TRとダイオードの生産、つくば工場で今年から開始。 ロームは米LSIロジックから昨年9月に買収した「つくば工場(現社名ロームつくば)」(茨城県つくば市北原10)で2004年からトランジスターとダイオードの生産を開始する。つくば工場の6インチウエハー対応の0.35CMOSラインをそのまま使って、まずパワーMOSFETの生産を立ち上げる。 デュアル生産体制 パワーMOSFETに続いてダイオードの生産を開始。0.35CMOSラインで生産できる品種を拡大していく。 トランジスター、ダイオードの生産により、トランジスターはロームアポロデバイスと、ダイオードはローム・ワコーデバイスとのデュアル生産体制が整う。 昨年11月から15カ月間は継続することでLSIロジックと合意しているLSIロジックからのASIC、システムLSIの受託生産のファウンダリーとともに、ロームのトランジスター、ダイオードの前工程工場として稼働させていく。 床面積約4万平方メートル 同工場は敷地面積7万平方メートル。建物Fab2(93年操業)、Fab1(87年操業、99年から休止)、CMPセンター、事務所棟2棟、エネルギーセンター、テスター棟(休止中)があり、延べ床面積約4万平方メートル。クリーンルーム面積はFab2とMCPセンター合わせてクラス1が1300平方メートル、クラス1000以上が1万2000平方メートル。 6インチウエハー対応の0.3―1.0マイクロメートルCMOSプロセスラインで月産2万5000枚(0.35マイクロメートル3層配線換算)の生産能力を持つ巨大工場のため、今後の受注動向、製品展開を踏まえて生産する品目、品種を決めていく。 つくば工場は10月20日付で同工場を運営するロームつくば(ロームが全額出資)が引き継ぎ、ロームの5工場目の前工程工場として稼働している。 |
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